レイキを今日のような体系に作り上げたのは、臼井甕男（うすいみかお）先生です。

1922年（大正11年）3月、臼井甕男先生（当時56歳）は悟りを求めて京都の鞍馬山に登り、 そこで断食修行を行いました。そして21日目の深夜に、強力な宇宙霊気が貫き、 その後は彼が手を触れると、癒しと浄化が起こるようになりました。

「この力を自分や家族で独占せず、多くの人々に治癒能力を授けて喜びを共有しよう」 と考えられた臼井甕男先生は、これを「臼井霊気療法」と名づけ、 同年4月に東京・青山にて「臼井霊気療法学会」を創設されました。

施術を行うとともに霊気療法の公開伝授を行い、 屋外に行列ができるほど盛況だったと伝えられています。

臼井先生からレイキを伝授された人の中に、軍医であった林忠次郎（はやしちゅうじろう） 先生がいらっしゃいます。

林忠次郎先生は退役後に、東京・信濃町で霊気療法専門の治療所を開業されました。 8つの治療台と16人の霊気療法家により、1人の患者を2人で施術する方式で、 盛況だったと伝えられています。

臨床体験を活かす為に「林霊気研究会」をつくられ、 臼井霊気療法をベースに独自の理論と技法を加えた「林霊気療法」を確立されました。 これは、海外に伝わったレイキの基礎となっています。

林霊気療法の施術を受けた人の中に、ハワイ生まれの日系2世、 ハワヨ・タカタ（高田はわよ）先生がいました。

ハワヨ・タカタ先生は1935年（昭和10年）に難病のため、 このままでは余命幾ばくもないと診断されます。 体力をつけるためにしばらく日をおいてから、手術が行なわれることになりました。

しかし、手術以外に何か方法があると直感を受けたハワヨ・タカタ先生は、 その方法を探っているうちに、林忠次郎先生の治療所を紹介されました。 そして霊気療法を受けた結果、8ヵ月後には健康を取り戻されました。

レイキの効果に感激されたハワヨ・タカタ先生は林忠次郎先生に弟子入りし、 そこで約1年間働いた後、ハワイに戻られレイキ・クリニックを開きました。 そこでは施術に専念されていましたが、1977年（昭和52年）頃からレイキ伝授を行い、 22人のレイキティーチャーを育成され、1980年（昭和55年）に80歳で亡くなられました。

その翌年、ハワヨ・タカタ先生の孫娘であるフィリス・フルモト先生が レイキ・アライアンスを設立され、ハワヨ・タカタ先生の後継者としての役割を引き継ぎ、 多くのマスターたちがこれに参加しました。

しかしレイキについて別の考えを持つ文化人類学者のバーバラ・レイ先生は、 1982年（昭和57年）にアメリカン・インターナショナル・レイキアソシェイション （現在はラディアンス・テクニークと改称）を設立され、ハワヨ・タカタ先生が 設立されたアメリカレイキ協会は、2つの大きな流れに分かれて、 欧米諸国に広まっていきました。

現在、アメリカの病院内では、レイキ療法が認可されている州があります。 イギリスやカナダでは、レイキヒーリングに保険が適用され、先進国においてレイキは、 代替療法としてもポピュラーな存在となっていきました。

日本においては、戦後からレイキは忘れ去られたような状態でありましたが、
1980年代後半に海外から逆輸入されるかたちで普及しています。

1987年（昭和62年）11月、バーバラ・レイ先生の著書 『レイキ療法〜宇宙エネルギーの活用』が日本で出版されて、 レイキがブームになります。

この本の翻訳を担当されたニューヨーク在住の三井三重子先生が、 日本でレイキセミナーを開催されましたが、三井三重子先生はレイキの2段階目まで しか指導されませんでした。

1993年（平成5年）初頭には、ドイツ人のフランク・ペッター先生が、 日本人の夫人とともに札幌へ移住されました。この時フランク先生は、 レイキの初歩からティーチャー養成までのノウハウを日本に持ち込み、 レイキセミナーを開始され、それを機に日本国内でもレイキティーチャーの数は 増えていきました。

日本では、海外から伝わってきたレイキを西洋式、 海外に伝わらなかった霊気を伝統式と呼んで区別する風潮もありますが、 臼井甕男先生をレイキの創始者とし、4つのシンボル＆マントラを使用するレイキは、 一般に臼井レイキ、または臼井式レイキと呼ばれています。

世界におけるレイキ実践者は、推定500万人と言われています。

時代の流れと共にレイキも多様化しており、 別の手法と融合させたスタイルのレイキ、オリジナルで作ったシンボルや マントラを使用するレイキなども生まれ、 現在はレイキと名前の付くものが、 多数存在しています。

その、どれが良い悪いというのはありませんので、 時代の流れや個人のニーズに合ったレイキを学ばれると良いでしょう。 まずは基本となる臼井式レイキを習得し、その後、学びを深めるために、 別スタイルのレイキを習得される方も多いようです。

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※レイキの歴史における年表は文献などで残されているものが少ないため、 伝承のうちに誤って伝えられたり、記憶違いがあったりなどで矛盾が生じ、 正確に判明していないものもあります。 ここでは通説として伝えられているものを記述しています。